我的科技博物馆 第69章

作者:千越南秋

原本安静坐在旁边听着众人争论的郝耀平,看到杨森平把话题牵扯到自己身上后,也只得清了清嗓子讲上几句。

“我们能组装出这台顶级光刻机,且各项技术均远超海外公司,其中绝大部分可都是人家徐磊的功劳。”

“没有他别说是对外公布,恐怕在研究几年也休想取得效果。”

伴随郝耀平的声音在众人耳旁响起,大家也不免老脸一红,但却不敢有任何异议。

谁让事实就是如此。

郝耀平将众人的表现看在眼里,稍微停顿数秒便又接着讲道:“既然徐工有把握配制出适用于顶级光刻机的光刻胶,那我们就应该全力支持。”

“直到光刻胶出来为止。”

“至于外面的议论,咱们科研工作者需要在意这些吗?”

当郝耀平的话音落下,杨森平顿时明白这件事已经给出定论了,于是连忙趁着气氛当场宣布道:“郝老说的不错,徐工负责整个项目研究组的事情,只要他没有这个打算那我们就耐心等这款光刻胶被配制出来。”

“届时我们在芯片制造上的技术,也将远远超过海外公司。”

话说到这里,其他人自然不会再进行议论,并且随后也纷纷返回自己的工作岗位对光刻机各部件进行新的测试优化。

确保等光刻胶出来,进行实际测试的时候不会出现特殊情况。

而不得不说,项目研究组成员的担心很有道理的。

尽管距离春节还有几天时间,但不知道是不是放假比较闲的缘故,很多网友都自发到华科院官方账号下面催促。

到后面更是每天登上两个热搜,简直都快成日常保留节目了。

至于行业内的专业人士公司,虽说没有像网友那样采用这种方式追问,但对此同样非常关注。

想知道国产光刻机究竟达到了何种水准。

主要这关系到相关行业的发展。

越早知道具体情况,便能越早布局,有利于后续的发展。

但影响较大的,还是海外媒体对此事的放大化报道,内容信誓旦旦的指出华科院根本不可能研发出高端光刻机。

加上面对这么大的外界压力,华科院没有做出任何回应,无形中又增加了众人的怀疑。

全网各大平台网站上,凡是相关内容下面都能看到激烈的热议。

“我这次可能真是要失望了,看来国产光刻机的研发的确还有很长的路要走。”

“技术落后倒是没什么,关键故意放出这种消息就没有必要了,除了让大家体验到巨大的落差感没有任何作用。”

“还有几天就是春节了,请问光刻机在哪里呢?”

“大家还是洗洗继续睡吧,哪有什么光刻机,全都在做梦而已。”

“想不通有必要这么着急吗,人家说的明明是春节前后,现在质疑什么。”

“后十几年也算后,玩文字游戏没啥用。”

“当你们还在为此争议质疑的时候,聪明人已经全部梭哈半导体行业基金了。”

“真尼玛狠人啊,都这种局面了还敢梭哈基金,我没记错相关行业已经连续跌几天了吧。”

……

在众多的评论留言中,虽然有些愿意相信国产光刻机,可在海量的质疑声潮中翻不起任何浪花。

完全不起眼。

而相比外界的风起云涌,此刻徐磊则是两耳不闻窗外事,一心全在光刻胶。

“主体材料必须要尽量减少高吸收元素,引入特殊金属氧化物提高光刻的感光速度,增强体系抗蚀能力,降低光刻胶的膜厚,最终进一步提升分辨率。”

“这次应该没什么问题了。

“只要顺利完成,就能配制出和顶级光刻机相适合的光刻胶。”

2020年1月24日,周五。

除夕夜。

华科院化学实验室内。

此刻徐磊穿着实验操作服,站在工作台旁摆弄着上面的各种精密仪器。

虽说看不到其具体神情如何,但从口中低喃的声音来判断,他这次是胸有成竹。

随后在几名助手的配合下,特殊金属氧化物被引入体系材料中,并在设备的自动运作下,逐渐形成可以直接涂抹在晶圆片上的光刻胶。

不过究竟能否达到想要的效果,成功生产出3纳米规格的芯片,还需要拿到光刻机那边实际测试才行。

至于被称作物理极限的1纳米芯片,因为所需的特殊金属材料还未运送过来,所以暂时还无法生产。

但可以确定的是,这个春节大家虽然都没有回家,却肯定是几十年来最开心兴奋的一天。

第98章 领先世界的芯片制造工艺

“我们终于成功了,真是不容易啊!”

实验室内。

随着光刻胶被配制出来,房间顿时响起了激动兴奋的喊声。

但徐磊面对助手的这副表现,脸上却并未流露出欣喜之色,反倒沉声对其讲道:“现在说成功还尚有些早,需要涂抹在晶圆片上进行实际测试后才能确定。”

其实他心里对这次试验是比较有把握的,所配制出来的光刻胶应该能达到他的要求。

只是出于科学的严谨性, 这才表现的比较冷静。

闻声。

那位助手则连忙平复下来。

待情绪控制好后这才有些尴尬的抱歉道:“抱歉徐工,是我太高兴忘记这一点了。”

“没关系。”

对于徐磊来说这只是一件再小不过的插曲,自然不会放在心上,随口吐出这三个字后当即又说道:“杨院长和郝老他们还在等着我们的消息,把配制好的光刻胶带上我们赶紧过去吧。”

“这会是最好的新年礼物。”

话音刚落。

身体便已经迈步走出了实验室。

“是徐工。”

剩下的助手面对这句交代自然不敢有任何迟疑,连忙点头应声后便开始收拾起工作台上的光刻胶。

尽管都是青壮年的小伙子,在这个时候手掌却不受控制的微微颤抖。

毕竟这份配制出来的光刻胶也有他们一份心血,眼看它就要进行测试, 成为国产顶级光刻机不可或缺的重要部分,心脏就像是开了全功率似的快速跳动。

按照正常情况。

因为今天刚好是除夕夜。

哪怕是科研工作者也会回到家里陪伴家人,享受这每年一次的传统佳节。

但得知光刻胶今天就会配制完成后,包括杨森平郝耀平在内那么多位项目研究成员没有一个人选择回家过节。

大晚上全部待在院内等着徐磊的研究成果。

能亲眼看到高端芯片被自家的光刻机生产出来,这份意义对于他们来说是绝对不一般的。

不多时。

当徐磊来到那台组装好的顶级光刻机所在区域,顿时便见一群人快速围了上来,脸上尽皆流露出期待的神情。

“怎么样,成功了吗?”

“应该没什么问题,但具体效果如何还需要实际测试。”注视着杨森平那几乎快占据了自己大半个视野的熟悉脸庞,徐磊倒也没有故意卖关子,直接如实简要说明了实际情况。

对此身后带着光刻胶过来的助手也当即附和道:“院长, 配制好的光刻胶在这里。”

“好。”

“好啊。”

“实在太好了。”

从徐磊口中得到确切答案, 杨森平那颗悬着的心也终于落地, 在连续说了三声好后立刻下达测试的命令。

“开始测试吧, 今天晚上咱们大家就一起过个特殊的除夕夜。”

“没想到我这把老骨头还有那么热血沸腾的时候,当真是不容易啊。”身处这种氛围之下,使得郝耀平也忍不住感慨了两句。

这台顶级光刻机的部件早已组装完毕,并且在徐磊配制光刻胶的时候又进行了多次调试。

此时开机使用没有任何问题。

而当外面张灯结彩阖家欢乐的时候,第一台顶级国产光刻机也终于以自己的方式发出怒吼,为这个新年送上了最珍贵的祝福。

伴随着激光器发射出激光击中滴落的锡液激发出高功率的等离子体,并通过收集器捕获等离子体向所有方向发出的辐射,将其集中起来最终传递至光刻系统对晶片进行曝光。

至于涂抹了光刻胶的晶圆也早已被放在曝光台上,借助光敏感性在上面蚀刻出电路。

虽然这个过程并不需要花费很长时间,但因为需要对生产的芯片进行各项数据测试分析,确保它是合格的产品,所以想拿到最终结果还需耐心等待。

不夸张的讲。

在场所有人中,除了徐磊此刻内心都是比较忐忑的。

既愿意相信此项目会圆满成功,又生怕临到头出现什么差池。

——

就这样。

大家足足煎熬到了春节晚上即将敲响新年钟声的时候,这才见一位测试人员满脸兴奋的走进来,手中还拿着一份数据分析文件。

“杨院长,芯片的各项测试数据出来了。”

“快拿过来。”

终于等到这个时候,杨森平也顾不上什么形象,话音还未落下便主动朝对方走了过去。

伸手接过文件仔细查看起来。

约莫过去半分钟的时间后,这才见杨森平再也无法掩饰自己心中的激动之情,当即对众人大声进行宣布。

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